上海茂竺电子科技有限公司

公司介绍:
    上海茂竺电子以高端技术产品和技术服务相辅并进的快速发展模式。为半导体、医药及生物芯片等行业提供厂务所必需的材料部件(隔膜阀、EP(BA)管道等)以及特殊气体设备[例如特气柜(GAS CABINET) 、阀门箱(VMB)],化学品供应系统(例如CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX)。
    上海茂竺电子信奉以客户为中心的服务理念,提供设备安装及二次配管等一系列高纯系统的整体解决方案,具体内容覆盖了从方案设计到安装、测试等方面。茂竺电子通过控制项目的重复设计和建设,达到花费项目资金和周期的最小化。
    我们主要服务于以下各行业:
    * 高亮度发光二极管外延HB-LED: 主要工艺设备 MOCVD 光刻机等
    * 有机发光二极管OLED: PECVD, 溅射台,蒸发台OLED台,OTFT台
    * 太阳能电池:主要工艺设备 PECVD,SPUTTER等
    * 硅外延:外延炉
    * 微机电系统MEMS:主要工艺设备RIE,LPCVD,ICP,等离子清洗机,溅射机等
    * 医药及生物芯片:
    * 平面及等离子显示器:
    * 化工:
    * 其他材料薄膜研究:主要工艺设备APCVD,LPCVD,MBE ,HVPE.
    特气设备及洁净部件(特气钢瓶柜、阀门箱)主要用于控制超高纯特殊气体,电子特气包括氢气H2、氮气N2、氧气O2、 氩气Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、氨气NH3、三氯一氢硅烷TCS、氯气CL2、氯化氢气体HCL、三氯化硼BCL3、三甲基硼TMB、二氯二氢硅烷DCS等等多种气体或液化气体。
公司产品及服务:
    上海茂竺电子的特气设备有特气柜(Gas Cabinet或称钢瓶柜、气瓶柜),气体流量控制箱(Gas Box by MFC),阀门箱(VMB),阀门盘(VMP),气体侦测器(Gas Detector),废气处理器(Scrubber)以及化学品供应机台(CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX)。
    上海茂竺电子公司还提供特气设备的安装服务、特气系统的二次配管及化学品供应机台的安装、化学品供应管道的配管等高洁净要求的业务。
    从日本、欧美等发达国家进口的电子级材料,如EP级 (BA级、AP级)不锈钢管道(Tube,SS316L,SS304,或称电子级管道、超高纯管道),隔膜阀(Diaphragm Valve), 减压阀(Regulator,或称调压阀),过滤器(filter,0.003μm),fitting(Gland ,Tee …)等等高纯特殊气体系统中必需采用的各类零部件。
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